金属刻蚀,poly刻蚀,氧化物刻蚀。
具体工艺条件无法,只能简单的说,这3中刻蚀在半导体行业都是干法刻蚀,也就是dry etch。主要区别在于所有的刻蚀气体不一样,比如,金属刻蚀用CL2,氧化物刻蚀用C4F6,C5F8。
晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程,最终在晶圆上保留的是特征图形部分。
光刻工艺在晶圆的制造过程中,晶体三极管、二极管、电容、电阻和金属层的各种物理部件在晶圆表面或表层内构成。这些部件是每次在一个掩膜层上生成的,并且结合生成薄膜及去除特定部分,通过光刻工艺过程,最终在晶圆上保留特征图形的部分。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件(parts)的关联正确。
光刻是所有四个基本工艺中最关键的。光刻确定了器件的关键尺寸。光刻过程中的错误可造成图形歪曲或套准不好,最终可转化为对器件的电特性产生影响。图形的错位也会导致类似的不良结果。光刻工艺中的另一个问题是缺陷。光刻是高科技版本的照相术,只不过是在难以置信的微小尺寸下完成。在制程中的污染物会造成缺陷。事实上由于光刻在晶圆生产过程中要完成5层至20层或更多,所以污染问题将会放大。
工序
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
这些单词长相比较相近,又都是e打头,非常容易搞混淆。
epoch是指历史上一个时代,一个纪元,而且这个时代、纪元通常是发生了某件大事件开启后者结束的这种,比如说古代谁谁谁干了一件大事情,标志着一个新的纪元开始;比如说,古代谁谁谁死了,标志着他的时代结束。这些都可以用epoch。
连接词epoch—making,划时代的,开创纪元的,意义重大的。
ethos是指某个团体组织或者社会中所蕴含的道德观,社会观。也可以指一个民族或者国家中所蕴含的民族精神,国民道德观念,国民精神等等这些虚无缥缈的精神层面的东西。
2017年考研英语(二)阅读1,第三段第二句,出现ethos:Parkun is not a race but a time trial: Your only competitor is the clock。 The ethos welcomes anybody。
在这里ethos就是指parkrun这项活动的宗旨,你也可以理解为精神,是欢迎任何人。
echo大家应该比较熟悉,比较常见,就是回声,回响的意思。
关于echo的来源有一个神话故事传说,这个故事还和Narcissus有关,那我们先讲Narcissus的故事,查单词你可以知道narcissus是水仙花的意思,narcissist指自恋的人,narcissistic是形容词自恋的,narcissism则是名词自恋,自我陶醉。那水仙花和自恋有关系吗?当然有,在神话故事里,Narcissus是个人名,是一个极度自恋的美少年的名字,他爱上了自己在水中的倒影,不能自拔,后来被报应女神把他变成了水仙花。
大家说,这和echo有关系吗?不要急,慢慢来,你知道为什么narcissus会被报应女神变成水仙花呢?他做了什么遭天谴的事情吗?他的确做了,神话故事中有一个美丽的女神名字就叫作Echo,长相甜美人见人爱,在众神当中有着大量的粉丝,尤其是宙斯,被迷得神魂颠倒,所以天后赫拉很生气,对她下咒,从此Echo不能说话,只能重复别人说的话的最后三个字。而Echo又迷恋着美少年Narcissus,但是大家也知道美少年Narcissus只喜欢自己,他骄傲自负、毫不留情地斩断了Echo对他的爱慕之情,伤痛欲绝的Echo自此躲进了深深的山谷里永不出世。而愤怒的诸神们便也毫不留情地把Narcissus变成了水仙花,一直长在水边对着自己倒影孤芳自赏的水仙花。所以后来echo这个词就是回音的意思,而narcissus便是水仙花,narcissus衍生出的一系列词都是和自恋有关。
etch是指凿刻,蚀刻,常指在玻璃啊,金属啊,塑料啊这些东西上刻上某些烙印,比如说名字,图案,logo之类的,刻的方式可以是镂啊,凿啊,或者是腐蚀啊之类的。常用于被动形式,和with一起连用,表示什么东西be etched with什么印记,这种表达。也可以修饰人,是一种修辞手法,一般都是心情感受之类的,比如说happiness或者tiredness be etched on 谁谁谁的 face上,就是表示脸上流露出了开心、疲倦的神情。这种修辞手法常用于写作,一般口语谁这么说绝对就是有装逼过头。
ethic是道德规范,职业道德。各行各业都有自己的道德规范,这个就是ethic。比如说professional ethic职业道道,medical ethic医德,business ethic商德。ethic是名词,加al后缀变成ethical,是形容词道德的,伦理的,合乎道德的。ethical加ly后缀变成副词ethically。ethic还可以作为一门学科,叫作伦理学,是哲学学科的一门分支。想学的话推荐中国人民大学。
。
ethnic是形容词民族的,种族的,人种的,具有民族特色的。比伦理道德ethic多了一个n。
以下便是这篇文章中出现的所有单词。
epoch
epoch—making
ethos
narcissus
narcissist——narcissism——narcissistic。
echo
ethic——ethical——ethically。
etch
ethnic
应为etching
etching 英[ˈetʃɪŋ] 美[ˈɛtʃɪŋ] 。
n. 蚀刻版画; 。
v. 用针和酸类在金属板上蚀刻(图画等)( etch的现在分词 ); (感情)明显地表露在(脸上) ; (脸上)明显流露出(感情) ; 铭刻在心里/记忆里/脑海里; 。
[例句]Mary is very keen on etching.。
玛丽很喜爱蚀刻艺术。
[其他] 原型: etch 复数:etchings。
防止失误。跟据刻蚀工艺信息显示,在刻蚀中需要方向性是防止失误,刻蚀,英文为Etch,它是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。
etching
[英][ˈetʃɪŋ][美][ˈɛtʃɪŋ]。
n.蚀刻版画;
v.用针和酸类在金属板上蚀刻(图画等)( etch的现在分词 ); (感情)明显地表露在(脸上); (脸上)明显流露出(感情); 铭刻在心里/记忆里/脑海里; 。
复数:etchings
例句:
1.
Each etching is for each print. 。
一个蚀刻图案对应一颗印章。
2.
Etching, polishing and painting processes can release dangerous dust andchemicals including cyanide and arsenic. 。
蚀刻、抛光和烤漆流程可能释放出有害粉尘以及氰化物、砷等化学物质。